新国学网:中国实现离子注入机全谱系产品国产化助_谱系-离子-注入-
发布日期:2021-03-17 来源:中国新闻网(cns2012) 作者:叶攀
核心提示:中新网北京3月17日电(记者孙自法)记者17日从中国电子科技集团有限公司(中国电科)获悉,该集团旗下电科装备已成功实现离子注入机全谱系产品国产化,可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。中国电科旗下电科装备研制成功的离子注入机。中国电科供图中国电科介绍说,离子注入机是芯片制造中的关键装备。电科装备连续突破大流强长寿命高品质离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”关键技术,自主研制出中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入
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