新国学网:芯片制造关键设备再突破!离子注入机实_谱系-国产化-伊宁-
发布日期:2021-03-17 来源:新华视点 作者:姜雨薇
核心提示:权威快报|芯片制造关键设备再突破!离子注入机实现全谱系产品国产化中国电子科技集团有限公司17日对外公布,该集团旗下装备子集团攻克系列“卡脖子”技术,已成功实现离子注入机全谱系产品国产化,包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,工艺段覆盖至28nm,为我国芯片制造产业链补上重要一环,为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。(记者温竞华,海报设计:贾伊宁)【编辑:姜雨薇】
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